三坐标测量机非接触式测量在高能光源中的应用

分类： 其他 提交时间： 2025-04-22

韩圆颖 董岚 王铜 卢尚 闫路平 张露彦 刘晓阳 闫皓月 马娜 何振强 柯志勇 门玲鸰 李波 王小龙 梁静

摘要： 本文针对高能同步辐射光源准直测量中面临的丝线位置测量、薄片棱边监测及视觉扫描设备精度验证等复杂需求，提出了一种基于接触式与非接触式测头协同工作的复合三坐标测量系统。通过集成影像测头与接触测头，充分发挥两者在精度、效率和适应性上的互补优势，成功解决了传统单一测头方法在易变形部件、高反射表面及复杂几何特征场景下的局限性。实验结果表明，在旋转线磁中心引出、可调光阑刀片归零标定及引张线扫描仪精度验证等应用中，复合系统的综合测量不确定度低至6.09 μm，其中光束线站的可调光阑刀片归零调整时间较传统方法缩短至0.25小时，精度达10μm，较传统方法效率提升4倍以上。该复合测量系统实现了高精度协作测量，显著提高了准直工作的效率与可靠性，满足高能光源准直测量需求，展现出三坐标测量机技术在光源准直领域的重要发展趋势，为其他精密工程领域的多测头协同测量提供了技术参考。

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